美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器 產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測(cè)、過(guò)程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界ling xian 的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性,是業(yè)內(nèi)zui 潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器 產(chǎn)品特點(diǎn):
可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級(jí)別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染
熱插拔電池-確保儀器長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池,故無(wú)論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無(wú)需停機(jī)
測(cè)試向?qū)В═est Wizard)能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控解決方案。用單臺(tái) MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。
靈活的通訊方式——設(shè)置簡(jiǎn)單,數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無(wú)線,以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng),或者客戶已有監(jiān)控軟件,以便減少文書(shū)工作
直觀的用戶界面
簡(jiǎn)便的區(qū)域,位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制,節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤(pán)中,從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤,并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃!
符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求,儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
美國(guó)BECKMAN MetOne 3411 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器 產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):
粒子通道個(gè)數(shù): | 6個(gè) |
粒徑通道(µm): | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 |
流量: | 11.0 CFM (28.3 Lpm) |
零點(diǎn)計(jì)數(shù): | ISO 21501-4和JIS B (9921) |
標(biāo)準(zhǔn): | 在5分鐘1顆或少于1顆, 95% UCL |
很大濃度限制: | 在50,000 /ft3 時(shí)為5% |
通訊: | 通過(guò)以太網(wǎng)、USB數(shù)據(jù)線或U盤(pán)可以直接通過(guò)計(jì)算機(jī)獲取顆粒計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)。不需要設(shè)備驅(qū)動(dòng)或軟件 |
計(jì)數(shù)效率: | 在0.1 μm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B9921,粒徑大于0.15μm時(shí)為 100 |
光源: | 氦氖激光器 |
泵: | 可供連續(xù)使用的專有的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
計(jì)數(shù)顯示: | 彩色1/4英尺VGATFT觸摸屏 |
打印機(jī): | 高速熱敏打印機(jī) |
語(yǔ)言: | 英語(yǔ)、法語(yǔ)、德語(yǔ)、意大利語(yǔ)、西班牙語(yǔ)、韓語(yǔ)、日語(yǔ)、中文 (簡(jiǎn)體中文+繁體中文) |
很大計(jì)數(shù): | 可顯示9,999,999 |
取樣時(shí)間: | 1秒到23小時(shí)59分59秒 |
保持/延遲時(shí)間: | 0秒到23小時(shí)59分59秒 |
計(jì)數(shù)報(bào)警: | 1到9,999,999個(gè) |
地址 編號(hào): | 1 ~ 9,999,999 |
名稱: | 文字描述,顯示在打印輸出資料上 |
零計(jì)數(shù)等級(jí): | 1個(gè)/5分鐘(根據(jù)JIS B9921) |
歧管: | 支持 2432 32-端口的多路采樣系統(tǒng) |
數(shù)據(jù)儲(chǔ)存: | 5000個(gè)樣品,可在前面板滾動(dòng)顯示 |
輸出: | USB 客戶端 (版本為 1.1) USB 主機(jī)端 (版本為 1.1) RS485配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng) 配有802.11g通訊協(xié)議的無(wú)線輸出 (可選) MET ONE 2432型多路采樣系統(tǒng) 備用接口 (警報(bào)和掃描探頭) |
通訊協(xié)議: | Modbus TCP,Modbus RTU,串行的FX |
輸入: | 空氣速度傳感器 相對(duì)濕度/溫度探頭 |
自動(dòng)CDA 清洗: | 連接到CDA之后,清洗電磁閥會(huì)被激huo。 |
儀器的保修期: | 2年 |
電池類(lèi)型: | 鋰電池,可充電,可熱插拔 |
電池個(gè)數(shù): | 2個(gè) |
電池運(yùn)行時(shí)間: | 100 LPM (1.77 CFM) zui短3小時(shí) |
電池充電時(shí)間: | 很少6.75小時(shí),很多為10個(gè)小時(shí) |
電源: | 24 VDC 3.2A ,配有100~240 VAC 50/60 Hz 適配器 (包含在運(yùn)輸箱中) |
尺寸: | 31.8 W x 25.4 D x 20.3 H cm (12.5 x 10 x 8 inches) |
重量(不含電池): | 15.9 kg (35 lb) |
電池重量: | 0.66 kg (1.45 lb) |
機(jī)箱材質(zhì): | 易于清潔的鈍化不銹鋼 |
操作環(huán)境濕度: | 運(yùn)行溫度 0 ~ 40℃ (32~104°F),相對(duì)濕度為10 ~ 90% ,無(wú)冷凝 |
儲(chǔ)存環(huán)境濕度: | -40 ~ 50℃ (-40 ~ 122°F),相對(duì)濕度為0 ~ 98%,無(wú)冷凝 |
可選附件: | 能型電池充電器/校準(zhǔn)器:PN 280-300-5000 |
備用電池: | PN 280-120-2024 |