osakavacuum干式真空泵 泵轉(zhuǎn)子DSP251
osakavacuum干式真空泵 泵轉(zhuǎn)子DSP251
便攜型
小巧輕便,抗外界干擾能力強。正時無齒輪結(jié)構(gòu)實現(xiàn)輕量化。
提高實用便利性
氣鎮(zhèn)機制作為標準安裝。為風(fēng)冷型,無需準備冷卻水。
無油正時
無齒輪結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了不使用潤滑油的設(shè)計。
低噪音
正時無齒輪結(jié)構(gòu),無機械噪音。在外殼上配備隔音功能。
使用低振動
螺桿轉(zhuǎn)子可消除排氣脈動。
與節(jié)能
競爭對手相比功耗低。
清潔排氣
與油旋轉(zhuǎn)真空泵不同,由于沒有油蒸氣或顆粒的回流,因此可以實現(xiàn)非常清潔的排氣。
高速抽氣
在大氣壓附近實現(xiàn)高抽速。
安全標準 CE 符合
用法
掃描電鏡、光刻
醫(yī)療裝置
負載鎖定/傳輸室排氣
分析設(shè)備
加速器、離子源、電子槍尾氣
一般工業(yè)
物理氣相沉積
研發(fā)
模型 | DSP251 | |||
基本的 表現(xiàn) | 排氣速度 | 無氣鎮(zhèn) | 升/分鐘 | 230 |
帶氣鎮(zhèn) | 升/分鐘 | 200 | ||
極限壓力 | 無氣鎮(zhèn) | 帕 | 0.5 | |
帶氣鎮(zhèn) | 帕 | 2個 | ||
連接格式 | 錄取 | - | KF25 | |
排氣 | - | KF25 | ||
大概重量 | 公斤 | 16 | ||
公用事業(yè) 日提 | 電源 | 相數(shù) | 單相 | |
電壓 | 五、 | AC100-230 ±10% | ||
電源容量 | 弗吉尼亞州 | 450 | ||
聯(lián)系 | - | 平川 Hutech CM11 | ||
能量消耗 | 到達時間 | W。 | 240 | |
最大限度 | 380 |
物品 | 規(guī)格 | |||
標準配件 | AC100V級 電源線 | 帶地線的插座插頭,長 3m | ||
控制信號連接器 | D-sub 15Pin公頭 | |||
操作說明 | ||||
選項 | 吸氣式真空過濾器*4 | KF25 | ||
AC200V級電源線 | ||||
排氣消音器 | ||||
泵體固定支架 |