yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列
L12系列(集成型)
功能
低壓1MPa以下
焊接規(guī)范金屬墊片
配件集成規(guī)格調節(jié)閥結構
針型
兼容氣體
7類特殊高壓氣體腐蝕性氣體,有毒氣體
除外標準流量
~60噸/分鐘
yutaka半導體制造用壓力控制設備L12系列
特點
規(guī)范
入口壓力 最大0.99MPa 調節(jié)壓力(L12?L12H) 最大0.7MPa(量程規(guī)格0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.7MPa
)調節(jié)壓力(L12V) 量程規(guī)格 -0.08~0.1MPa, -0.08~0.2MPa 耐壓壓力 1.5MPa (入口側) 簡歷值 0.1 工作溫度 -10~+40°C 外部泄漏 1×10-11Pa?m3/秒?He (真空方式) 質量 約 270g(1.125“ SEMI 規(guī)格) L12 系列是按照 1.25“ SEMI 標準設計的壓力調節(jié)器。
與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 和 C 密封件兼容。
還提供高流量和真空規(guī)格以及端面密封接頭類型。