產(chǎn)品功能
1.可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
4.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
5.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
6.支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
SJ6000雙頻激光干涉儀氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源,再加上環(huán)境補(bǔ)償器,使線性測量的精度穩(wěn)定在0.5ppm,動態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz,測量速度4m/sec,高速測量下的分辨率為1nm。架設(shè)靈活,對各種復(fù)雜結(jié)構(gòu)的機(jī)床、平臺和導(dǎo)軌都具有廣泛適用性,測量快速簡便,減少重復(fù)定位測量的時間,同時得到精確直觀的檢測數(shù)據(jù)。