一、 簡介
J.A.Woollam公司于1987年由Woollam教授等創(chuàng)辦。公司是由內(nèi)布拉斯加州立大學(xué)的科研成果為基礎(chǔ)衍生而來的專業(yè)生產(chǎn)光譜型橢圓偏振測量儀的廠商,公司研發(fā)、生產(chǎn)多種不同規(guī)格型號的橢偏儀。
J.A.Woollam公司擁有超過100項的橢偏patent技術(shù),確保公司的技術(shù)處于地位。已有2000多套橢偏儀已被安裝到世界各地,廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)當(dāng)中。RC2是J.A.Woollam公司的的光譜橢偏儀產(chǎn)品。采用雙旋轉(zhuǎn)補償技術(shù),可測量穆勒矩陣的全部16個單元。
二、 技術(shù)特點
設(shè)備特點:采用雙旋轉(zhuǎn)補償器,高精度快速測量。
采用消色散的補償器,性能更優(yōu)化。
的光源,計算機可控輸出光強。
的光束對準(zhǔn)系統(tǒng),數(shù)據(jù)測量更準(zhǔn)確。
波長范圍: 193-1690nm(超過1000個波長點)
變角范圍: 45°-90°(水平樣品臺)
20°-90°(垂直樣品臺)
測量速度:典型數(shù)據(jù)全光譜測量不超過1秒。
自動樣品臺尺寸:8/12寸多種樣品臺可選
三、 應(yīng)用
單層膜或多層膜疊加、單一膜層及液態(tài)膜層,測量薄膜厚度、反射率和透射率、折射率等光學(xué)常數(shù)。
半導(dǎo)體薄膜:光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示:OLED、氧化層厚度、ITO
光學(xué)鍍膜:硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜:PI、PC