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Local Scrubber尾氣處理設(shè)備尾氣處理裝置

參考價	￥100-￥19999999

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱格林斯達(dá)（北京）環(huán)?？萍脊煞萦邢薰?
品牌其他品牌
型號
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/3/17 9:45:20
訪問次數(shù)1619

產(chǎn)品標(biāo)簽:

Local Scrubber

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公司介紹主營產(chǎn)品

格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)是一家集環(huán)保咨詢、研發(fā)設(shè)計、加工制造、設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、智慧運維于一體的廢氣處理解決方案提供商。格林斯達(dá)（北京）環(huán)?？萍脊煞萦邢薰境闪⒂?009年，是一家走在世界環(huán)保領(lǐng)域前端的國家高xin技術(shù)企業(yè)，專注于半導(dǎo)體集成電路、泛半導(dǎo)體等行業(yè)廢氣治理，為客戶提供全生命周期的個性化廢氣處理解決方案。2016年成立全資子公司，并取得環(huán)保專業(yè)承包及機(jī)電安裝專業(yè)承包資質(zhì)，2018年成功掛牌新三板(gu票代碼：873139)，2019年上海分公司成立，迅速占領(lǐng)華東市場，2021年生產(chǎn)研發(fā)基地及深圳分公司成立，2022年制程排氣系統(tǒng)公司成立，進(jìn)軍華南市場的同時，自主研發(fā)及生產(chǎn)智能環(huán)保設(shè)備。

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半導(dǎo)體廢氣處理（半導(dǎo)體廢氣治理系統(tǒng)設(shè)備品牌公司）

產(chǎn)品簡介在線詢價

加工定制	否

等離子水洗Local Scrubber設(shè)備，用于去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

Local Scrubber尾氣處理設(shè)備尾氣處理裝置產(chǎn)品信息

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LOCAL SCRUBBER工作原理

通過直流電源，使工作氣體（氮氣）進(jìn)入等離子體反應(yīng)器，在正負(fù)極qiang電流的作用下，被電離成等離子體，瞬間產(chǎn)生巨大的火焰，產(chǎn)生的高溫火焰將廢氣分解。

LOCAL SCRUBBER設(shè)備優(yōu)勢

1、去除效率高，不需要燃料和熱源，耗能低；

2、處理高沸點廢氣，應(yīng)用范圍廣；

3、高溫、反應(yīng)速度快；

4、設(shè)備占地面積小、便于安裝。

本裝置的直流電弧等離子體為非轉(zhuǎn)移型，兩電極區(qū)域不參與反應(yīng)，只產(chǎn)生等離子體，產(chǎn)生的火焰溫度可達(dá)3000度以上。

等離子反應(yīng)器的MTBF大于1年，反應(yīng)室內(nèi)腔的材質(zhì)耐熱和耐腐，具有四個進(jìn)氣口，裝置具備冷卻區(qū)、噴淋區(qū)及兩級填料除霧區(qū)，對PFC溫室氣體的去除效率>90%。

LOCAL SCRUBBER性能參數(shù)

除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm MTBF >6months; MTTR<1.5hr cpvc="">1year 尺寸（mm） 800*800*1850 進(jìn)氣口 NW50*4 耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95% 水量<4slm

LOCAL SCRUBBER生產(chǎn)廠家

格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)，工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案提供商，提供廢氣治理一站式服務(wù)（方案規(guī)劃設(shè)計、設(shè)備生產(chǎn)及安裝、系統(tǒng)運行調(diào)試、智慧運維）。如您有Local Scrubber采購需求，即刻聯(lián)系我們吧！