產(chǎn)品簡介:
本儀器是一款可以對樣品進(jìn)行目鏡觀察、相機(jī)成像、拉曼光譜檢測以及拉曼光譜成像等功能的集成化拉曼光譜儀。
儀器由拉曼光譜儀、拉曼共焦模塊、大平臺檢測顯微鏡等構(gòu)成。
特點(diǎn):
1.全新的MX大平臺檢測顯微鏡,支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查,含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。
2.可以同時插入三個不同波長的拉曼光譜儀檢測模塊,并且可在軟件上進(jìn)行不同光譜儀間的切換,即可實(shí)現(xiàn)多波長拉曼的快速自動檢測。
3.可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個波長,且可搭配不同性能的光譜儀,如非制冷、制冷、深度制冷等,以滿足客戶對不同樣品、檢測精度的不同需求。
4.若選配自動平臺,還可以實(shí)現(xiàn)自動點(diǎn)掃描進(jìn)行高光譜成像。
技術(shù)參數(shù)
顯微鏡參數(shù):
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng) | 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動同軸調(diào)焦,微動格值:1微米 |
行程:35mm | |||
目鏡 | 大視野(視場數(shù)25mm) | 物鏡轉(zhuǎn)器 | 六孔轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | 5X、10X、20X、50X、100X 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相物鏡 | 載物臺 | 平臺面積:718X420 |
移動范圍:356X305 | |||
帶離合器手柄 | |||
電動平臺 | 平臺面積:495X641 | ||
移動范圍:306XXI06 | |||
重復(fù)精度:(3+L/50)um | |||
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 | ||
內(nèi)置視場/孔徑光欄 | |||
帶濾色片與偏光裝置插槽 | |||
三目鏡筒 | 瞳距55mm-75mm, | CCD適配鏡 | 0.5X C-mount |
分光比:50/50,100/0,0/100 | |||
觀察方式 | 明場、暗場、偏光、DIC | 其它 | 高精度測微尺 |
包裝清單
拉曼光譜儀參數(shù):
拉曼光譜范圍 | 200-3600cm-1 |
分辨率 | <15cm-1@25μm slit |
激光器 | 532±1nm,線寬≤0.2nm |
激光功率穩(wěn)定性 | ≤3% P-P(@2hrs) |
輸出功率 | 0-100mW 可調(diào) |
濾光片激光截止深度 | OD8 |
工作溫度 | 0-40℃ |
工作濕度 | 5-80% |
激光器壽命 | 5000hrs |