產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng),主要由射頻發(fā)生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料(如單晶片、光學(xué)元件、塑料等)表面雜質(zhì),且清理速度迅速。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層進(jìn)行預(yù)先表面處理的合適的工具選擇。GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀具有一個樣品臺,將樣品固定在樣品臺上后可進(jìn)行X、Y、Z三個方向上一定范圍內(nèi)的連續(xù)移動清洗,且清洗過程中離子束不會發(fā)生抖動,清理后的樣品表面質(zhì)量均勻。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-PJF-A等離子表面處理儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-PJF-A |
主要特點(diǎn) | 1、高速清理物件表面,操作簡單、安 全。 2、無需真空和腔室環(huán)境。 3、小巧實(shí)用、成本低。 4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:110/220V 50Hz/60Hz <1000W 2、輸出頻率:20KHz-23KHz 3、離子束頭:圓頭10mm-12mm,矩形頭15mm-18mm 4、輸入氣壓:0.275MPa(min) 5、工作氣氛:空氣、氮?dú)?、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力:0.048MPa-0.068MPa 7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH 8、工作臺:自動控制三維工作臺,X、Y軸電動調(diào)節(jié),Z軸手動調(diào)節(jié) 9、真空吸盤:Ø100mm 10、X軸行程:200mm 11、Y軸行程:100mm 12、Z軸行程:50mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:600mm×600mm×1250mm;重量:55kg |