LIBSOPA實(shí)現(xiàn)了一維線(xiàn)性?huà)呙琛⒁痪S深度分析和二維面掃描分析,用統(tǒng)計(jì)解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度、夾雜物分布、表面和內(nèi)部缺陷分析等指標(biāo)。LIBSOPA為材料成分分析 、 缺陷分析 、涂鍍層分析等 提供了新的技術(shù)手段及質(zhì)量判據(jù) 。
儀器特點(diǎn):
非接觸、微區(qū)、深度分析;兼具原位統(tǒng)計(jì)分布分析功能;分析空間分辨率150-400μm
儀器參數(shù):
一.激發(fā)光源
激光器:燈泵固體激光器
輸出波長(zhǎng):1064 nm
脈沖頻率:1~10Hz可調(diào)
二.雙視場(chǎng)成像:
全景視場(chǎng):100mm*100mm
微區(qū)視場(chǎng):8mm*8mm
三.移動(dòng)掃描系統(tǒng):移動(dòng)分辨率:1μm
行程:80mm*80mm
四.剝蝕光斑 :
軟件自動(dòng)調(diào)節(jié)
尺寸:150μm ~400μm
五. 分光系統(tǒng):
巴邢—龍格架法,光柵焦距750 mm
高發(fā)光全息光柵,刻線(xiàn)為2400條/mm
譜線(xiàn)范圍:170~800nm
分辨率:優(yōu)于0.01nm
惰性氣體密閉樣品倉(cāng)
可檢測(cè)短波元素(C,P,S,B)