Profilm3D 光學輪廓儀
低成本–高精度
Filmetrics讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術。以的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。
100mm自動XY樣品臺
您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎?我們現(xiàn)在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺,4孔物鏡轉(zhuǎn)臺和手動調(diào)平裝置作為標準配置。
超大的視場范圍
Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場范圍,同時其4倍光學變焦的功能緩解了不同應用時切換多個物鏡的需求。這些都進一步降低了采購成本。
特征值
8 μm 臺階高度
精確度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差,連續(xù)成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測量10um臺階高度標樣20天,取每天測量30次數(shù)值的平均值,計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。
所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數(shù)位化的pixel binning實現(xiàn))
分開銷售
樣品上投影的像素大小
樣品表面粗糙時可測傾角將更大