殘余氣體分析質(zhì)譜儀 PrismaPlus--四級(jí)桿質(zhì)譜分析儀
上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列，模塊化設(shè)計(jì)，質(zhì)量數(shù)范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內(nèi)置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用于多種測(cè)量用途，使用壽命長(zhǎng)。
Pfeiffer 四極質(zhì)譜儀 PrismaPlus 主要優(yōu)勢(shì)：
1. 模組化設(shè)計(jì)提供了產(chǎn)品適應(yīng)性
2. 結(jié)構(gòu)緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統(tǒng)集成簡(jiǎn)單
4. 可通過(guò)乙太網(wǎng)網(wǎng)路化
5. 測(cè)試過(guò)程快速穩(wěn)定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設(shè)計(jì)保證的可靠性
8. 的可檢測(cè)分壓達(dá)1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | QMG 220 M1 | QMG 220 M2 | QMG 220 M3 | ||||
| 檢測(cè)器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||
| 質(zhì)量數(shù) amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 | ||||
| 四極桿直徑／長(zhǎng)度 | 6/100 mm | |||||||||
| 最小檢測(cè)極限 F mbar | 1X10-12 | 2X10-12 | 4X10-12 | 5X10-12 | 1X10-11 | 2X10-11 | ||||
| 最小檢測(cè)極限 M mbar | - | - | - | 1X10-14 | < 2X10-14 | < 4X10-14 | ||||
| 對(duì)Ar的靈敏度 F A/mbar | 1X10-3 | 6X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 3X10-4 | 1.5X10-4 | ||||
| 對(duì)Ar的靈敏度 M A/mbar | - | - | - | 200 | 200 | 100 | ||||
| 工作壓力 F | 1X10-4 mbar | |||||||||
| 工作壓力 M mbar | - | - | - | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 | ||||
| 對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||
| 操作溫度 F | 150 °C | |||||||||
| 烘烤溫度 F | 200 °C / 300 °C | |||||||||
| 連接法蘭 | DN 40 CF-F | |||||||||
| 重量 | 2.4 kg | 2.4 kg | 2.4 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | ||||
殘余氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用：四極質(zhì)譜儀 QMG非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例一：分子束外延 MBE 氣體分析
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例二：對(duì) XPS 系統(tǒng)的分析室殘余氣體進(jìn)行定性和半定量分析
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例三：分析真空釬焊過(guò)程中產(chǎn)生的氣體成分和含量
1.設(shè)計(jì)緊湊
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn)。在適用中客戶將感受到它堅(jiān)固，緊湊的設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的系統(tǒng)集成，并從中受益。
2.應(yīng)用范圍廣闊
通過(guò)可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測(cè)器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀是從，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的方案。
3.檢測(cè)速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀可 以在三個(gè)不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測(cè)極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測(cè)結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測(cè)儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識(shí)別出來(lái)。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個(gè)壓力量規(guī)，PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個(gè)精確的全壓監(jiān)控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡(jiǎn)單，它還提供了捕獲和觀察所有測(cè)試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺(tái)。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動(dòng)預(yù)設(shè)的功能。
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀尺寸及配件：
Pfeiffer 氣體質(zhì)譜分析儀：上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國(guó) Pfeiffer 銷售維修中心，我司是國(guó)內(nèi)代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司，99% 并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。
