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ICP感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)

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  • 公司名稱沈陽麥科諾科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/12/19 18:42:48
  • 訪問次數(shù)291
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沈陽麥科諾科技有限公司是一家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室儀器提供商,創(chuàng)建于2016年。公司以超高、高真空技術(shù)與高精度制冷技術(shù)為核心技術(shù),持續(xù)開發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的真空設(shè)備與冷水機(jī)產(chǎn)品,包括磁控濺射鍍膜機(jī)、電子束/電阻蒸發(fā)鍍膜機(jī)、ICP等離子體刻蝕機(jī)、RIE反應(yīng)刻蝕機(jī)、平板式PECVD/管式PECVD、小型電弧爐、系列高精度高性能循環(huán)水冷水機(jī)等。公司在真空鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備的研發(fā)和制造上處于行業(yè)地位,如聯(lián)合高校、中科院所共同研發(fā)的粉體顆粒表面鍍膜設(shè)備、異形體表面鍍膜設(shè)備、熱絲CVD金剛石生長設(shè)備、真空升華提純設(shè)備等,其中有多種產(chǎn)品空白。公司自主生產(chǎn)的真空產(chǎn)品涵蓋低真空、高真空、超高真空的上百品種,廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的教學(xué)、實(shí)驗(yàn);企業(yè)的產(chǎn)品研發(fā)、產(chǎn)品中試、生產(chǎn),深受用戶的好評。公司服務(wù)領(lǐng)域包括汽車、能源、電力、半導(dǎo)體、航空航天、藥品食品、石油化工、科學(xué)研究、分析測試儀器等行業(yè),以產(chǎn)品技術(shù)*、性能穩(wěn)定、可靠耐用、性價比合理,受到用戶的信任與支持。公司的目標(biāo)是為為用戶提供技術(shù)*、性能穩(wěn)定可靠的的實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品,我們相信產(chǎn)品的高性能與高可靠性將為客戶和我們自己創(chuàng)造值。發(fā)展歷程2016年-創(chuàng)建沈陽麥科諾科技有限公司2016年-研發(fā)成功VTC300小型磁控濺射鍍膜儀并銷售市場2016年-研發(fā)成功反轉(zhuǎn)倒置磁控濺射靶并銷售市場2017年-研發(fā)成功ICP等離子體刻蝕機(jī)并銷售市場2017年-研發(fā)成功高分子派瑞林鍍膜機(jī)并銷售市場2018年-研發(fā)成功冷陰極離子源并銷售市場2018年-研發(fā)成功桌面式DTM-1真空熔煉爐并銷售市場2018年-與北京大學(xué)東莞光電研究研合作發(fā)成功款紫外光源2018年-研發(fā)成功陶瓷電路專用鍍膜機(jī)并銷售市場2019年-研發(fā)成功國內(nèi)高性能高能電子衍射儀2019年-與昆明理工大學(xué)合同研制成功RF等離子體球化設(shè)備2020年-研發(fā)成功PET局卷繞磁控濺射鍍膜機(jī)2020年-研發(fā)成功離子束刻蝕機(jī)
ICP感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)
ICP感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

本設(shè)備主要用于常規(guī)尺寸樣片(不超過Φ6-8英寸)的刻蝕,可刻蝕的材料主要有SiO2、Si3N4、多晶硅、硅、SiC、GaN、GaAs、ITO、AZO、光刻膠、半導(dǎo)體材料、部分金屬等。設(shè)備具有選擇比高、刻蝕速率快、重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。

設(shè)備主要由高真空刻蝕室、真空獲得及真空測量系統(tǒng)、恒壓系統(tǒng)、電源系統(tǒng)、ICP系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、報警系統(tǒng)等部分組成。

刻蝕材料:Si、SiO2、SiN、Poly-Si、聚合物、光刻膠等材料

氣路:6臺MFC控制6路氣體進(jìn)氣

樣品有效尺寸:Φ150mm(Φ6英寸)


15700106413
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