防腐蝕勻膠機主要特點:
1.表殼和旋轉(zhuǎn)盤由聚丙烯(PP)制成,可抵抗大部分腐蝕性溶液。
2.數(shù)字控制箱與旋涂機分開。
3.標配一個過濾器。它用于連接泵和涂布機,以防止廢水流入泵。
4.標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺,防止飛片。
5.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能,確保操作穩(wěn)定。
6.內(nèi)腔直徑150mm,PP防腐真空吸盤Φ100mm,可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物。
7.數(shù)字控制面板,帶有6個可編程段,可實現(xiàn)不同的旋轉(zhuǎn)時間和速度。
8.電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。
輸入功率 | 默認220V,50/60Hz,單相,可達1000W。 數(shù)字控制箱背面的電源插座用于為真空泵供電。 |
轉(zhuǎn)速 | 500rpm-8000rpm可調(diào) |
時間 | 1s-60s |
電機 | 24DC無刷電機,可達200W |
凈重 | 25千克 |
尺寸 | 旋涂腔體:25.2cm(直徑)×41cm(高) 數(shù)字控制器:23cm(長)×32cm(寬)×16cm(高) |
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