Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式臨界點干燥儀多年成功經(jīng)驗的基礎(chǔ)上,結(jié)合Tousimis獨立研發(fā)的觸屏控制界面全新推出的新一代產(chǎn)品。Touchscreen C 系列干燥儀具有高可靠性、高重復(fù)性、操作簡便的特點,采用的專業(yè)觸屏軟件全自動控制,是提高MEMS研發(fā)與生產(chǎn)效率的利器。
產(chǎn)品特點:
專為MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制備而設(shè)計的落地式全自動臨界點干燥儀,無塵室適用 可處理8"晶圓,每次最多可處理5個晶圓 標(biāo)配HF相容晶圓架和10mm方型晶圓架 標(biāo)配專用樣品室內(nèi)環(huán),可適配不同直徑的晶片樣品,節(jié)省LCO2用量,縮短干燥時間,提高干燥效率 LCD觸控屏 可編程觸屏控制界面,全自動控制 多種默認處理程序,也可自定義程序并重復(fù)使用 慢速充液功能,適用于各種易損樣品 “Stasis”程序用于處理較厚或較難干燥的樣品 高效內(nèi)部冷卻回路,快速降溫,節(jié)省40%LCO2 專用內(nèi)置式SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2,消除靜電及吹掃噪音 外置兩級過濾系統(tǒng),可過濾LCO2內(nèi)0.08μm以上雜質(zhì) 外置吹掃后過濾器,便于儀器維護 非機械式吹掃攪拌技術(shù),免維護 內(nèi)置壓力控制模塊,自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性 精確參數(shù)控制,確保處理結(jié)果重復(fù)性
樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗,便于觀察樣品狀態(tài) 無塵室防靜電兼容設(shè)計 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)
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C系列干燥儀參數(shù)對比:
全新觸屏C系列:
型號 (點擊下載PDF) | ?4 Series C | ? Series C | ? Series C |
產(chǎn)品編號
| 8788A | 8788B | 8788C |
樣品室尺寸 | 4.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深) | 6.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深) | 8.5"(內(nèi)徑)×1.25"(深) |
樣品室容積 | 326 ml | 679 ml | 1162 ml |
降溫時間 | <3 min | <4 min | <5 min |
樣品室內(nèi)環(huán) | 4", 3", 2", 1.25" | 6", 4", 3", 2", 1.25" | 8", 6", 4", 3", 2", 1.25" |
HF相容晶圓架 | 4", 3", 2", 10mm | 6", 4", 3", 2", 10mm | 8", 6", 4", 3", 2", 10mm |
溫度壓力范圍 | - 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi |
設(shè)備尺寸 | 50.3 cm (寬) × 80.6 cm (深) × 113.0 cm (高)
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標(biāo)配附件:
柔性高壓LCO2進液管線,3.0 m(無塵室) 外置兩級LCO2過濾裝置(去油/水及0.5 μm以上顆粒物) 用于吹掃、放空、排氣及冷卻放空的防靜電管線 備用樣品室密封環(huán)(3),樣品室燈泡(2),保險絲(2) 樣品室內(nèi)環(huán),內(nèi)徑8"(僅適用于8.5英寸型號), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號), 4", 3", 2", 1.25",可適配不同直徑晶圓 HF相容晶圓架[8"(僅適用于8.5英寸型號), 6"(僅適用于8.5與6.5英寸型號), 4", 3", 2"]及10mm方形樣品架,每個支架最多可放置5片晶圓或樣品 安裝工具
用戶說明書及數(shù)據(jù)表 2年質(zhì)保及終生免費技術(shù)支持
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