在傳統(tǒng)的直拉法生產(chǎn)單晶材料時(shí)，生產(chǎn)設(shè)備存在自動(dòng)化程度低，投料量少、設(shè)備功能單元布局不合理等一系列問題，從而導(dǎo)致單晶生產(chǎn)中人工勞動(dòng)強(qiáng)度大、單位產(chǎn)能與品質(zhì)低，成本高等一系列問題。隨著社會(huì)的進(jìn)步，市場(chǎng)對(duì)新一代單晶生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)向自動(dòng)化程度高、投料量大、單位時(shí)間產(chǎn)能高、能耗低等方面。針對(duì)這些需求，爐壓自動(dòng)控制技術(shù)、CCD非接觸測(cè)量技術(shù)、爐體恒溫控制技術(shù)的發(fā)展的進(jìn)一步要求也是自動(dòng)化；大爐體，高副室，旋板閥，水冷屏等的技術(shù)改進(jìn)，是提高投料量與產(chǎn)能的必要方式。當(dāng)投料量與產(chǎn)能達(dá)到一定程度時(shí)，副室的高度會(huì)進(jìn)一步增加，因此坩堝托盤與提拉頭的動(dòng)平衡問題會(huì)日漸突出，如何保證兩大低頻非規(guī)則運(yùn)動(dòng)部件的動(dòng)平衡將會(huì)是一大挑戰(zhàn)。

NVT-HG型單晶爐可實(shí)現(xiàn)生長過程的全自動(dòng)控制，爐壓全自動(dòng)控制，采用CCD測(cè)量技術(shù)，此外還以其大裝爐量、高生產(chǎn)效率、低能量消耗，為客戶帶來額外利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長

? 直拉法單晶生長

? 目前主要用于單晶硅棒的生產(chǎn)制造

適用工藝

爐壓自動(dòng)控制、CCD非接觸測(cè)量、自動(dòng)旋板閥、下排氣流線型管路等

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 單臺(tái)2噸以上的月產(chǎn)能，實(shí)現(xiàn)單晶硅棒量產(chǎn)。
• 合理的爐體布局，使得爐子能耗同比下降10%。
• 大尺寸的主室為大投料量留下了空間。
• CCD系統(tǒng)保障了晶體的自動(dòng)引放與等徑，為以后升級(jí)預(yù)備了空間。
• 自動(dòng)旋板閥的應(yīng)用大大提高了副室的可應(yīng)用長度，自動(dòng)開旋大大減少了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
• 下排氣的流線型設(shè)計(jì)，為硅料頁面提供穩(wěn)定的氬氣氛圍，大大提高液面與硅棒生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
• 在的漏水等情況發(fā)生時(shí)，爐蓋泄壓設(shè)計(jì)防止了爐體爆炸，將高壓泄 放。
• 自動(dòng)爐壓系統(tǒng)快速調(diào)整爐壓，實(shí)現(xiàn)了爐體自動(dòng)壓力恒壓，解決了人工調(diào)整爐壓的滯后性和準(zhǔn)確性等問題。
• 工藝菜單為客戶提供了各類工藝設(shè)置儲(chǔ)存，客戶可以按照自主工藝自動(dòng)生產(chǎn)晶體。
• 單機(jī)版數(shù)據(jù)工作站按每分鐘儲(chǔ)存一次的速率快速存儲(chǔ)數(shù)條關(guān)鍵數(shù)據(jù)，為 用戶實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)追溯。