Automegasamdri-934, Series C
產(chǎn)品特點:
新配置的專用“慢充”控制,給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學(xué),保護了大多數(shù)易脆樣品;
外部配置了PURGE后的過濾裝置,保護樣品,容易更換和后期維護;
采用了的“Vortex Swirl”非機械攪拌,使PURGE而不至于破壞樣品;
高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),可以快速冷卻腔體溫度,縮短操作時間;
內(nèi)置SOTER冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣,消除排氣噪音;
的樣品室填塊,可以改變樣品室直徑,減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時間,并兼容不同尺寸晶圓的處理;
內(nèi)部過濾系統(tǒng),過濾流進樣品室的液態(tài)二氧化碳,過濾顆粒尺寸達到0.08μm;
一次運行可以處理5片4英寸晶圓,改變樣品室尺寸,每次運行也可以分別處理3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶;
標配特氟龍兼容的4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個;
垂直樣品室,內(nèi)腔有照明,樣品室蓋子帶觀察窗;
明亮的LCD觸屏控制;
內(nèi)置出廠自動運行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序;
所有內(nèi)部表面適用于CO2,丙酮和超純乙醇;
可以重復(fù)設(shè)置的參數(shù),確保結(jié)果的可重復(fù)性;
集成自動控溫和靜態(tài)壓力控制模塊,確保自動安全的運行;
潔凈室和防靜電兼容設(shè)計;
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
產(chǎn)品規(guī)格:
外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
樣品室尺寸:內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,樣品室容積:326 ml;
LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型計量閥門來控制;
120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標準配件:
高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
雙T型過濾裝置,雙重過濾微小顆粒,過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
安裝工具;
防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
樣品室O型圈3個,樣品室LED照明燈1個,3A和8A保險絲各2個;
3個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括4、3、2和1.25英寸;
直徑為4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
用戶手冊;