日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1
G-TRAN系列是基于(1)降低設(shè)備成本、(2)節(jié)省空間、(3)節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計(jì),用于集中過程控制和各種設(shè)備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據(jù)應(yīng)用進(jìn)行組合。
特征
探頭與測(cè)量電路一體化結(jié)構(gòu)
模擬輸出和設(shè)定值輸出
獨(dú)立的偽對(duì)數(shù)輸出和設(shè)定值輸出(顯示單元)
采用 48 x 96mm DIN 標(biāo)準(zhǔn)尺寸(顯示單元)
用途
用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的工藝控制
日本ulvac冷陰極電離真空計(jì) SC1
規(guī)格
類型 | 傳感器單元 | ||
模型 | SC1 | ||
自適應(yīng)探頭 | C-21、23、24、25 | ||
測(cè)量壓力范圍 | 1.0×10 -5至 1.0 Pa | ||
測(cè)量精度 | +100%,-50%(1.0×10 -4到 1.0×10 -1) | ||
工作溫度限制 | 10~40℃ | ||
測(cè)量值輸出 | 非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時(shí)為 10V) | ||
SETPOINT1/2 調(diào)整輸出 | 非線性輸出:0 至 10V DC | ||
控制輸入信號(hào) | 高壓開/關(guān) | ||
輸出信號(hào) | 集電極開路,負(fù)邏輯 | ||
控制輸出信號(hào) | 放電確認(rèn)/設(shè)定點(diǎn) 1/2 | ||
LED顯示屏 | 功率、高壓、壓力保護(hù)、設(shè)定點(diǎn) 1/2 | ||
電源 | DC24V±2V, 150mA | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub-15 針(M2.6 螺絲) | ||
身體質(zhì)量 | 430g(不含觸控筆) | ||
配件 | 輸入/輸出連接器 1套 | ||
1份快速手冊(cè) |