■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機(jī)型,發(fā)生器自動(dòng)匹配,無(wú)需調(diào)節(jié)反射波,進(jìn)一步增加的操作的便捷性。
● 標(biāo)準(zhǔn)配備電離式真空計(jì),實(shí)時(shí)顯示真空度,使得控制更為精確。
● 純凈石英腔體非常適合于實(shí)驗(yàn)室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無(wú)需擔(dān)憂因?yàn)榍惑w材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>
■ 安全性·保護(hù)
● 裝載有氣體流量、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報(bào)警燈,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和了解機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過(guò)電流漏電保護(hù)、真空泵、RF發(fā)生器,以及電源各部分均標(biāo)準(zhǔn)配備過(guò)電流漏電保護(hù)裝置。
● 發(fā)生器保護(hù)回路:超負(fù)荷或者RF發(fā)生器發(fā)生問(wèn)題時(shí),可自動(dòng)調(diào)低頻率來(lái)保護(hù)發(fā)生器。
● 門鎖開關(guān):門在未*關(guān)閉時(shí)無(wú)法啟動(dòng)電源。
● 側(cè)板鎖:本體側(cè)板突然打開或者未關(guān)好時(shí),會(huì)停止電源。
● 緊急停止按鍵(EMO)標(biāo)準(zhǔn)配備。
● 運(yùn)行中ERR報(bào)警:運(yùn)行中出現(xiàn)以下問(wèn)題設(shè)備會(huì)出現(xiàn)ERR報(bào)警,并停止裝置:RF輸出值與設(shè)定值不符,氣體流量值與設(shè)定值不符,RF反射波超過(guò)一定范圍,真空度未達(dá)到設(shè)定值,等離子處理后,設(shè)定時(shí)間內(nèi),未恢復(fù)到大氣壓。
■ 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
●等離子清洗機(jī)清洗效果好,清洗效率高,功率大,應(yīng)用范圍廣。
●對(duì)清洗樣品,沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過(guò)程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●安全保護(hù)措施綿密,有效防止對(duì)機(jī)器以及樣品的損害。
規(guī)格:
型號(hào) | PR1000 | |
方式 | DP模式、圓柱形腔體 | |
性能 | 發(fā)生器功率: | 0-1000W |
發(fā)生器頻率: | 射頻RF13.56Mhz | |
發(fā)生器匹配方式: | 自動(dòng)匹配(Auto matching) | |
構(gòu)成 | 腔體材質(zhì): | 石英 |
腔體內(nèi)尺寸: | φ400×L500mm 約62.8L | |
反應(yīng)氣體: | 雙路工藝氣體,其中一路可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體,一路防腐蝕氣路支持CF4. | |
填充氣體: | 一路氮?dú)?/span> | |
控制方式: | 全自動(dòng)控制,7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示: | 測(cè)量高真空的電離式真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配備,實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度 | |
配管材質(zhì): | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門: | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色: | 標(biāo)準(zhǔn)色,白系 | |
外形尺寸: | W800×D919×H1958mm (高度含警報(bào)燈) | |
真空泵: | 無(wú)油干式真空泵 抽速60m3/hour,吸氣口NW40,排氣口NW25 | |
電源規(guī)格: | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量: | 約215kg | |
附屬品 |
| 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、6寸、8寸石英舟各一枚 |