石墨烯生長(zhǎng)爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成 ，額定溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。 軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時(shí)可以調(diào)出。
適用范圍：
石墨烯生長(zhǎng)爐是一種特殊的CVD系統(tǒng)，是專門為在金屬箔（像銅箔、鋁箔等）上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究上，特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長(zhǎng)。
標(biāo)準(zhǔn)配件：
| 質(zhì)子流量計(jì)×1 | 真空系統(tǒng)×1 | 射頻電源×1 |
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| 氣煉石英爐管×1 | 真空法蘭×1 | 防燙罩×2 |
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| 高溫手套×1 | 坩堝鉗×1 | 熱電偶×1 |
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| 剛玉坩堝×2 | 爐塞×2 | 中文說明書×1 |
可選配件：液晶觸摸控制儀全自動(dòng)智能型水冷機(jī)
| 電爐名稱 | 1200℃石墨烯生長(zhǎng)爐 |
| 電爐型號(hào) | SGM-1200T-S6012SGM1-4Z5S |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 150mm (+/-1 ℃) |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm(更多規(guī)格可按用戶需求定制) |
| 正常工作溫度 | 1100℃(此溫度為長(zhǎng)期加熱溫度 可選) |
| 額定溫度 | 1200℃（額定可選1700℃） |
| 爐管尺寸 | Φ60×1440mm(更多規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制) |
| 輸出功率 | 5 ～500W ± 1% . |
| 射頻頻率 | 180mm(+/-1°C) |
| 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 13.56 MHz ±0.005% . |
| 反射功率 | 額定約200W |
| 阻抗匹配 | 自動(dòng) |
| 真空度 | 10-3torr |
| 波紋管 | KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連. |
| 四通道控制 | 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動(dòng)控制、 一個(gè)混氣罐、底部裝有泄廢液口 |
| MFC 1范圍 | 0~100 sccm |
| MFC 2和3 | 0~500 sccm |
| 進(jìn)氣接口 | 1/4NPS |
| 出氣接口 | 1/4NPS |
| 水冷法蘭要求 | 水流量 >= 10L/M ，配有專業(yè)水冷機(jī)組 |
| 售后服務(wù) | 12個(gè)月質(zhì)保、終身保修 |
