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等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-PECVD-D
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2022/9/1 19:53:03
  • 訪問次數(shù)215
產(chǎn)品標簽:

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  鄭州科佳電爐誠招產(chǎn)品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業(yè)研發(fā)、制造高低溫加熱干燥設(shè)備、UV(紫外線)干燥設(shè)備。公司擁有優(yōu)良的加工設(shè)備和*的加工工藝和檢測方法。主營產(chǎn)品。其中高溫加熱設(shè)備有:實驗電爐箱式電爐、管式電爐馬弗爐、高溫電爐鐘罩爐、升降爐真空爐井式爐、氣氛爐;

   低溫加熱干燥設(shè)備有:工業(yè)精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設(shè)備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產(chǎn)品的質(zhì)量和完善的服務(wù),努力確??蛻魸M意。

     我們在堅持自主創(chuàng)新的基礎(chǔ)上吸收國內(nèi)外優(yōu)秀產(chǎn)品的*技術(shù),結(jié)合國內(nèi)實際情況研究開發(fā)、生產(chǎn)高低溫干燥設(shè)備UV干燥設(shè)備高溫加熱干燥設(shè)備產(chǎn)品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業(yè)等;廣泛用于陶瓷、化工電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)。低溫加熱干燥設(shè)備和UV(紫外線)干燥設(shè)備廣泛應(yīng)用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關(guān)、硅膠按鍵、光學鏡片、線圈、化工、木器、運動鞋、商標印刷、紙張印刷、汽車配件、塑膠領(lǐng)域。產(chǎn)品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉(zhuǎn)升降爐,高溫真空爐
產(chǎn)品介紹:等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜技術(shù)生長的一種系的制備技術(shù)
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹:
    等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜技術(shù)生長的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實驗要求設(shè)計制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。

主要功能和特點:
1、采用專業(yè)加熱元件,爐膛保溫材料采用多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強度高,無雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料。
2、整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度達到點,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
4、超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能。
5、PECVD管式爐系統(tǒng)由:射頻電源,管式爐加熱區(qū)系統(tǒng),質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體定量系 統(tǒng)組成。

產(chǎn)品參數(shù):
 
產(chǎn)品名稱PECVD
 
產(chǎn)品型號KJ-PECVD
500W 射頻電源
匹配功率范圍0-500W+1%可調(diào)
工作頻率13.56MHZ +- 0.005%
反射功率200W
匹配方式自動
輸出接口UHF或N型或7/16(L29)
冷卻強制風冷
電壓頻率Contrmodel220V 50Hz
匹配阻抗范圍Matching impedance range實部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據(jù)負載調(diào)節(jié)阻抗)
Real part 0-80Ω imaginary part -j200~ +j200
(can be adjusted according to load impedance)
管式加熱系統(tǒng) 
滑道帶滑道,可手動滑動爐膛,實現(xiàn)快速升溫或冷卻功能
加熱區(qū)長度300mm
爐管尺寸60mm x1600mm 外徑x長
爐管材質(zhì)高純石英管  (SiO2 ≥ 99.99%)
工作溫度≤1100℃
溫控系統(tǒng)智能化30段PID微電腦可編程自動控制
溫控精度±1℃(具有超溫及斷偶報警功能)
加熱速率建議0~10℃/min
加熱元件電阻絲
額定電壓單相220V 50Hz
可通氣體氮氣、氬氣等惰性氣體
測溫元件熱電偶測溫
殼體結(jié)構(gòu)雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風冷系統(tǒng)
真空法蘭法蘭一端帶1/4”卡套接頭進氣口,60轉(zhuǎn)KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動泄壓閥和放氣閥。
供氣系統(tǒng)四路精密質(zhì)子流量計:
測量精度:±1.5% F.S.
流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
流量范圍:  0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣)
流量范圍:  0~200 sccm(氬氣)
流量范圍:  0~500 sccm(含10%甲烷的氬氣)
通過觸屏來調(diào)節(jié)氣體流量
 
真空系統(tǒng)旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達10pa,
真空計:進口數(shù)顯真空計實時顯示真空度,精度高。
控壓系統(tǒng)控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設(shè)計)
自動化控制
15”觸摸屏
觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質(zhì)量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。
標準配件數(shù)顯真空計2個,石英爐塞1對,高密封法蘭1對,氟膠密封圈2對,高溫坩堝鉤1把,拆卸法蘭六角扳手1把,保修卡說明書1份
備注法蘭,質(zhì)量流量計,閥門,管路等用316不銹鋼材質(zhì)

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 

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