等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術(shù)是借助于輝光放電(等離子體)使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜技術(shù)生長的一種系的制備技術(shù)。我公司依據(jù)實驗要求設(shè)計制作該款設(shè)備以適應(yīng)各類薄膜研究的需要。
主要功能和特點:
1、采用專業(yè)加熱元件,爐膛保溫材料采用多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強度高,無雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料。
2、整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使爐膛溫度達到點,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
4、超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠具有多重防護功能。
5、PECVD管式爐系統(tǒng)由:射頻電源,管式爐加熱區(qū)系統(tǒng),質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣體定量系 統(tǒng)組成。
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | PECVD | |
產(chǎn)品型號 | KJ-PECVD | |
500W 射頻電源 | ||
匹配功率范圍 | 0-500W+1%可調(diào) | |
工作頻率 | 13.56MHZ +- 0.005% | |
反射功率 | 200W | |
匹配方式 | 自動 | |
輸出接口 | UHF或N型或7/16(L29) | |
冷卻 | 強制風冷 | |
電壓頻率Contrmodel | 220V 50Hz | |
匹配阻抗范圍Matching impedance range | 實部0-80Ω 虛部-j200~+j200(可根據(jù)負載調(diào)節(jié)阻抗) Real part 0-80Ω imaginary part -j200~ +j200 (can be adjusted according to load impedance) | |
管式加熱系統(tǒng) | ||
滑道 | 帶滑道,可手動滑動爐膛,實現(xiàn)快速升溫或冷卻功能 | |
加熱區(qū)長度 | 300mm | |
爐管尺寸 | 60mm x1600mm 外徑x長 | |
爐管材質(zhì) | 高純石英管 (SiO2 ≥ 99.99%) | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
溫控系統(tǒng) | 智能化30段PID微電腦可編程自動控制 | |
溫控精度 | ±1℃(具有超溫及斷偶報警功能) | |
加熱速率 | 建議0~10℃/min | |
加熱元件 | 電阻絲 | |
額定電壓 | 單相220V 50Hz | |
可通氣體 | 氮氣、氬氣等惰性氣體 | |
測溫元件 | 熱電偶測溫 | |
殼體結(jié)構(gòu) | 雙層殼體結(jié)構(gòu)帶風冷系統(tǒng) | |
真空法蘭 | 法蘭一端帶1/4”卡套接頭進氣口,60轉(zhuǎn)KF50快裝法蘭。另一端帶控壓閥,氣動泄壓閥和放氣閥。 | |
供氣系統(tǒng) | 四路精密質(zhì)子流量計: 測量精度:±1.5% F.S. 流量范圍: 0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣) 流量范圍: 0~200 sccm(含10%甲烷的氬氣) 流量范圍: 0~200 sccm(氬氣) 流量范圍: 0~500 sccm(含10%甲烷的氬氣) 通過觸屏來調(diào)節(jié)氣體流量 | |
真空系統(tǒng) | 旋片泵,真空度在空爐冷態(tài)可達10pa, 真空計:進口數(shù)顯真空計實時顯示真空度,精度高。 | |
控壓系統(tǒng) | 控壓范圍 -20kpa 到 20kpa (也可按客戶要求設(shè)計) | |
自動化控制 15”觸摸屏 | 觸摸屏界面集成控制爐子,真空泵,質(zhì)量流量計以及射頻電源。爐子部分需要先設(shè)好溫度時間曲線。集成控制部分可以控制溫度曲線的啟停,真空度,氣體流量,射頻功率和射頻啟停,泄壓閥等。 | |
標準配件 | 數(shù)顯真空計2個,石英爐塞1對,高密封法蘭1對,氟膠密封圈2對,高溫坩堝鉤1把,拆卸法蘭六角扳手1把,保修卡說明書1份 | |
備注 | 法蘭,質(zhì)量流量計,閥門,管路等用316不銹鋼材質(zhì) |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。