石英等離子清洗機(jī)是專門針對高潔凈度敏感產(chǎn)品處理需求的產(chǎn)品。作為有針對的設(shè)計(jì)，提供多種配置功能選項(xiàng)。并具有高性能以及穩(wěn)定性，操作方便的使用特性。
并可以控制在極低的腔體溫度，特別適用于溫度敏感器件。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-VQ05 | JL-VQ10 | JL-VQ15 | JL-VQ20 |
容量 | 5L | 10L | 15L | 20L |
功率 | 300W可調(diào) | 500W可調(diào) | 1000W可調(diào) | 1000W可調(diào) |
頻率 | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ |
腔尺寸 | D160*220 | D240*260 | D240×420 | D320×320 |
腔體材質(zhì) | 石英 | 石英 | 石英 | 石英 |
| 等離子體 | 耦合,腔體內(nèi)無電極 | 耦合,腔體內(nèi)無電極 | 耦合,腔體內(nèi)無電極 | 耦合,腔體內(nèi)無電極 |
真空度 | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 |
氣體流量 | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
氣體通道 | 二路 | 二路 | 二路 | 二路 |
外形尺寸 | 500(W)*550(D)*500(H) | 500(W)*550(D)*500(H) | 560(W)*700(D)*550(H) | 560(W)*700(D)*550(H) |
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石英等離子清洗機(jī)原理及功能簡介：
等離子體能與固體和氣體發(fā)生相互作用，這是等離子體在材料處理過程中發(fā)揮作用的前提。等離子體處理材料的四種基本工藝過程是：等離子體能產(chǎn)生高能粒子，等離子體能濺射產(chǎn)生金屬原子，等離子體能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)以及等離子體能高效地將電能轉(zhuǎn)化成為熱能。其中的某單一過程或多個(gè)過程都能對材料起到一定的改性作用。
石英等離子清洗機(jī)采用電感耦合式工作原理，利用真空泵達(dá)到一定的真空值后，在電感的作用下，形成了活性很高的等離子體，由此產(chǎn)生的等離子體可以達(dá)到表面改性清洗處理的效果。 通過其處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍膜等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂。
該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。且不產(chǎn)生金屬污染。
應(yīng)用范圍
u 材料科學(xué)
u 高分子科學(xué)
u 生物醫(yī)藥材料學(xué)，醫(yī)療支架
u 微流體研究及PDMS
u 微電子機(jī)械系統(tǒng)研究
u 光學(xué)
u 顯微術(shù)
u 電池極性材料，硅基，金屬半導(dǎo)體，陶瓷
u 科研、實(shí)驗(yàn)、教學(xué)
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害
3、低成本。
產(chǎn)品特點(diǎn)
產(chǎn)品主要適用于規(guī)模生產(chǎn)/科學(xué)實(shí)驗(yàn)
設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,操作簡單容易維護(hù)
引進(jìn)德國核心等離子技術(shù)
石英材質(zhì),耐腐蝕，不產(chǎn)生金屬污染。
進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)
多路工藝反應(yīng)氣體通道
可以根據(jù)客戶需求定制
