產品特點
1、本產品采用氣相法制備石墨烯材料方式，采用微波熱等離子體技術，適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產。
2、本產品等離子生長腔體采用潔凈石英管結構，避免生產過程中的雜質污染，確保產品品質。
3、本產品設計連續(xù)氣相生長功能，采用頂部4路進氣混氣，底部排料的結構。
4、本產品采用真空和微正壓系統(tǒng)設計，反應室與外界密封設計，適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產品設置真空管路和防爆泄壓結構，支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境。
6、本產品采用微波等離子體技術 ，功率智能調節(jié)，工藝性更穩(wěn)定。
7、本產品采用PLC程序控制，觸摸屏操作，工藝路線可實現(xiàn)自動化控制，工藝數(shù)據(jù)可讀取。
技術參數(shù)
產品名稱 | 氣相石墨烯生長爐 |
型號 | MCG-M10HBP |
技術原理 | 微波等離子體（MPCVD） |
設備形式 | 立式管道型，多路氣氛，高真空密封 |
進出料形式 | 進料：氣態(tài)/ 出料：固態(tài) |
反應區(qū)尺寸 | Φ200*500 mm |
微波系統(tǒng) | 微波功率10kW/2450MHz，系統(tǒng)水冷 |
產成品 | 石墨烯粉體，產量和特性依據(jù)具體工藝要求 |
監(jiān)控視窗 | 垂直三個觀察窗 |
控制方式 | PLC控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏操作，多參數(shù)顯示 |
安全措施 | 產品氣體管路系統(tǒng)防爆設計 |
微波防護 | 微波泄漏量：<5mW/cm2 (國標） |
設備外尺寸 | 900×900×1700mm（長×寬×高） |
資料下載
