手動無接觸硅片測試儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)
■ 無接觸測量
■ 適用的晶圓材料包括Si,GaAs,InP,Ge等幾乎所有的材料
■ 厚度和 TTV 測量采用無接觸電容法探頭
■ 高分辨率液晶屏顯示厚度和 TTV 值
■ 性價比高
■ 菜單式快速方便設(shè)置
■ 高分辨率液晶 LCD 顯示
■ 提供和計(jì)算機(jī)連接的輸出端口
■ 提供打印機(jī)端口
■ 便攜且易于安裝
■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
■ 高質(zhì)量微處理器為精確和重復(fù)精度高的測量提供強(qiáng)力保障
■ 高質(zhì)量 聚四氟乙烯晶圓測試架,為晶圓硅片精確定位提供保障
手動無接觸硅片測試儀 - 技術(shù)指標(biāo)
■ 晶圓硅片測試尺寸: 50 mm - 300mm.
■ 厚度測試范圍: 1000 u m , 可擴(kuò)展到 1700 um.
■ 厚度測試精度: +/-0.25um
■ 厚度重復(fù)性精度: 0.050umm
■ TTV 測試精度 : +/-0.05um
■ TTV 重復(fù)性精度 : 0.050um
■ 彎曲度測試范圍: +/-500um [+/-850um]
■ 彎曲度測試精度: +/-2.0umm
■ 彎曲度重復(fù)性精度: 0.750umm
■ 晶圓硅片導(dǎo)電型號: P 或 N 型
■ 材料: Si , GaAs , InP , Ge 等幾乎 所有半導(dǎo)體材料
■ 可用在: 切片后、磨片前、后, 蝕刻,拋光 以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等
■ 平面 / 缺口:所有的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
■ 硅片安裝:裸片,藍(lán)寶石 / 石英基底, 黏膠帶
■ 連續(xù) 5 點(diǎn)測量
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司是一家硅材料檢驗(yàn)儀器及服務(wù)提供商,提供全面的硅料、單晶硅片、多晶硅片等成套檢驗(yàn)設(shè)備及*解決方案。同時,拉單晶生產(chǎn)所需的輔料也是我公司主營范圍之一
硅材料檢測設(shè)備,拉單晶輔料,藍(lán)寶石檢測
手動無接觸硅片測試儀 產(chǎn)品信息