熱解石墨沉積爐技術(shù)特征
電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫,溫度均勻性好;
采用智能壓力調(diào)控,壓力波動?。?/span>
全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;
可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng),降溫時間短,生產(chǎn)效率高;
適于工藝氣氛:真空/CH4/C3H6/H2/N2/Ar。
熱解石墨沉積爐產(chǎn)品規(guī)格
參數(shù)/型號 | VCVD-0305-C | VCVD-0505-C | VCVD-0608-C | VCVD-0612-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1218-C | VCVD-1520-C |
工作區(qū)尺寸 φ×H(mm) | 300×500 | 500×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
溫度(℃) | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 | 2300 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±5 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) | 電阻/感應(yīng) |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
熱解石墨沉積爐配置選擇
結(jié)構(gòu)形式:立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
紅外儀:單比色/雙比色
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)