SEN特殊光源 清洗燈EUV200NS-35
產(chǎn)品規(guī)格: 型號(hào):EUV200NS-35 類型:UV紫外線燈管
技術(shù)參數(shù):200W,1.4A,管徑18-20MM,口金徑22MM,全長(zhǎng)525MM,發(fā)光長(zhǎng)450MM,UV特性254NM,壽命:5000H
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.光洗凈.光表面改質(zhì)
2.光酸化水處理.促進(jìn)酸化水處理
3.分解難分解的有機(jī)污染物.殺菌
應(yīng)用范圍:
大規(guī)模集成電路的密度越來(lái)越高,晶格的微細(xì)化越來(lái)越密,要求表面的潔凈度越來(lái)越高,光清洗可以有效地實(shí)現(xiàn)表面清潔度,而且對(duì)芯片表面不會(huì)造成損傷。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,硅晶片涂保護(hù)膜、鋁蒸發(fā)膜前進(jìn)行光清洗,可以提高粘合力,防止針孔、裂縫的發(fā)生