ROSI600系列氧分析儀對(duì)硅領(lǐng)域的分析的低靈敏度和高精度的要求。用固態(tài)紅外檢測(cè)系統(tǒng)靈敏度與我們?nèi)略O(shè)計(jì)的進(jìn)樣系統(tǒng)和可編程脈沖爐相結(jié)合。提供準(zhǔn)確和精確的氧含量的結(jié)果,比如硅片材料中氧的分析結(jié)果,低靈敏度和高精度也被應(yīng)用到其他金屬工業(yè)。
ROSI600系列氧分析儀特征
1、非色散固態(tài)紅外檢測(cè)器,高精度,高分辨率;
2、可編程通過(guò)功率及電流控制的脈沖電極爐;
3、分析精度及準(zhǔn)確度精確至ppm級(jí)別;
4、低空白值,配置適合硅片進(jìn)樣的進(jìn)樣口;
5、配置具有安全保護(hù)性能的試劑容器;
6、儀器全新的氣路設(shè)計(jì)需要更少的維修;
7、氧含量輸入采用ppma格式;
8、Windows@ 操作系統(tǒng)。
ROSI600系列氧分析儀產(chǎn)品特點(diǎn)
試樣的進(jìn)樣系統(tǒng)設(shè)計(jì)可連續(xù)樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進(jìn)樣系統(tǒng)的滑槽式的設(shè)計(jì)中,硅片可連續(xù)進(jìn)樣。雙密封,磁加載機(jī)械機(jī)構(gòu)以及集成的氧/水氣捕集器,使得進(jìn)樣系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀型號(hào)
ROSi600 氧分析儀配置電腦及平板顯示器和Windows操作系統(tǒng)
可選件
1、Smartline? Remote 遠(yuǎn)程診斷
2、消耗品
3、自動(dòng)清掃及自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)
應(yīng)用
ROSi600 樣本