設(shè)計(jì), 片電阻不受針尖距離影響多種型號(hào)以供選擇:
自動(dòng)上下片(Cassette to cassette, C2C)
室溫至100°C 的測(cè)量(更高可選)
可添加并整合于多腔式的集束型架構(gòu)設(shè)備(cluster tool)
亦可在連續(xù)式設(shè)備內(nèi)加入四探針片電阻及光學(xué)膜厚測(cè)量, 適合薄膜太陽(yáng)能(銅銦鎵硒, CIGS)及平板顯示行業(yè)
基材尺寸:
450mm晶圓 (樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn))
370 x 470mm 長(zhǎng)方形基底 (XY樣品臺(tái))
連續(xù)式設(shè)備可以度身訂做, 沒(méi)有尺寸限制
片電阻測(cè)量適合金屬薄膜、銅銦鎵硒、非晶硅(硅)、碲化鎘、鉬、透明導(dǎo)電薄膜(AlZnO2)、摻雜之后的硅(硅)、硅鍺及鍺
0.1 – 100,000 單位面積奧姆值 (更高可選)
短時(shí)間重復(fù)性: 0.1% (21次連續(xù)測(cè)量同一點(diǎn), 一個(gè)公差值)
長(zhǎng)時(shí)間重復(fù)性.0.2% (每天21次連續(xù)測(cè)量同一點(diǎn), 連續(xù)5 天, 一個(gè)公差值)
可整合于連續(xù)式(INLINE)的生產(chǎn)線(xiàn)內(nèi), 而收集的測(cè)量數(shù)據(jù)可自動(dòng)送到SCADA系統(tǒng)
光學(xué)膜厚測(cè)量功能可選
測(cè)量光斑<1mm
波長(zhǎng): 380-1050nm
可測(cè)量膜厚: 15-50nm, 多可達(dá)250nm
短時(shí)間重復(fù)性: ~0.1nm
長(zhǎng)時(shí)間重復(fù)性:: ~0.1nm
準(zhǔn)確度: 0.4% or 0.1nm