AFM5500M是操作性和測(cè)量精度大幅提高，配備4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)的全自動(dòng)型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對(duì)中，測(cè)試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動(dòng)操作平臺(tái)。新開(kāi)發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測(cè)量精度大幅提高。并且，通過(guò)SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺(tái)可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀(guān)察?分析。
特點(diǎn)
1. 自動(dòng)化功能
? 高度集成自動(dòng)化功能追求高效率檢測(cè)
? 降低檢測(cè)中的人為操作誤差
 |  |
| 4英寸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) | 自動(dòng)更換懸臂功能 |
2. 可靠性
排除機(jī)械原因造成的誤差
? 大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對(duì)掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的曲面，通常通過(guò)軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能*消除掃描器圓弧運(yùn)動(dòng)的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發(fā)的水平掃描器，可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動(dòng)影響的準(zhǔn)確測(cè)試。
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
? 高精角度測(cè)量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時(shí)候，會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會(huì)發(fā)生彎曲(crosstalk) ，可以得到水平方向沒(méi)有扭曲影響的正確圖像。
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N(開(kāi)環(huán)控制)時(shí)
3. 融合性
親密融合其他檢測(cè)分析方式
通過(guò)SEM-AFM的共享坐標(biāo)樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)在同一視野快速的觀(guān)察?分析樣品的表面形貌，結(jié)構(gòu)，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀(guān)察實(shí)例(樣品：石墨烯/SiO2)
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上圖是AFM5500M拍攝的形狀像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應(yīng)用數(shù)據(jù)。
? 通過(guò)分析AFM圖像可以判斷，SEM對(duì)比度表征石墨烯層的厚薄。
? 石墨烯層數(shù)不同導(dǎo)致表面電位(功函數(shù))的反差。
? SEM圖像對(duì)比度不同，可以通過(guò)SPM的高精度3D形貌測(cè)量和物理特性分析找到其原因。
今后計(jì)劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。
特點(diǎn)
AFM5500M 主機(jī)
| 馬達(dá)臺(tái) | 自動(dòng)精密馬達(dá)臺(tái) 觀(guān)察范圍：100 mm （4英寸）全域 馬達(dá)臺(tái)移動(dòng)范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg |
| 掃描范圍 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環(huán)控制 / Z：感應(yīng)器監(jiān)控） |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 復(fù)位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、計(jì)量10 μm的標(biāo)準(zhǔn)間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計(jì)量100 nm 的標(biāo)準(zhǔn)深度) |
| XY直角度 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 檢測(cè)方式 | 激光檢測(cè)（低干涉光學(xué)系統(tǒng)） |
| 光學(xué)顯微鏡 | 放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器） |
| 減震臺(tái) | 臺(tái)式主動(dòng)減震臺(tái) 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg |
| 防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg |
| 大小?重量 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg |
* 參數(shù)與設(shè)備配置及放置環(huán)境相關(guān)。
AFM5500M 專(zhuān)用原子力顯微鏡工作站
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 自動(dòng)調(diào)節(jié)懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號(hào)反饋 |
| 操作畫(huà)面 | 操作導(dǎo)航功能、多窗口顯示功能（測(cè)試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測(cè)量履歷顯示功能、數(shù)據(jù)批處理分析功能、探針評(píng)估功能 |
| X, Y, Z掃描驅(qū)動(dòng)電壓 | 0～150 V |
| 時(shí)時(shí)測(cè)試（像素點(diǎn)） | 4畫(huà)面（2,048 x 2,048） 2畫(huà)面（4,096 x 4,096） |
| 長(zhǎng)方形掃描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 分析軟件 | 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
| 自動(dòng)控制功能 | 自動(dòng)更換懸臂、自動(dòng)激光對(duì)中 |
| 大小?重量 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg |
| 電源 | AC100 ～ 240 V ±10% 交流 |
| 測(cè)試模式 | 標(biāo)配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
* WINDOWS 是、美國(guó) Microsoft Corporation 在美國(guó)及美國(guó)以外國(guó)家注冊(cè)商標(biāo)。
* RealTune是日立高新科學(xué)公司在日本、美國(guó)以及歐洲的注冊(cè)商標(biāo)。
選配項(xiàng)：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)
| 可適用的日立SEM型號(hào) | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
|---|---|
| 樣品臺(tái)大小 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| 樣品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 對(duì)中精度 | ±10 µm （AFM對(duì)中精度） |
