一．設(shè)備簡介
半導(dǎo)體超純水設(shè)備是應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)零件清洗的超純水設(shè)備，需要符合特定的用水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),半導(dǎo)體超純水設(shè)備出水水質(zhì)要符合美國ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)、中國電子工業(yè)電子級水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm)、半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。 榮大環(huán)保在滿足用戶用水標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)上，在設(shè)備系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

二．設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)及依據(jù)

1. 根據(jù)用戶提供的詳細(xì)水質(zhì)報告“量身定制”。

2. 水處理設(shè)備技術(shù)條件《JB/T 2932-1999》

3. 反滲透水處理設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)《CJ/T119-2000》

4. 低壓開關(guān)設(shè)備和控制設(shè)備成套裝置《IEC439-1 》

5. 實驗室超純水技術(shù)指標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《GB6682-2008 》

6. 國家電子級超純水規(guī)格《GB/T11446.1-1997》

三．工藝流程

1、 原水－原水加壓泵－多介質(zhì)過濾器－活性炭過濾器－軟水器－精密過濾器－級反滲透－PH調(diào)節(jié)－中間水箱－第二級反滲透－純化水箱－純水泵－EDI系統(tǒng)－超純水箱－純水泵－拋光裝置－終端超濾－用水點

四．設(shè)計特點

1. 系統(tǒng)采用全自動控制(同時亦可采用手動控制），系統(tǒng)運行時可設(shè)定自動反洗、再生程序；

2. 各單元接線均在工廠內(nèi)統(tǒng)一完成，減少安裝調(diào)試時間；

3. 一級反滲透和二級反滲透設(shè)有回流管道，反滲透設(shè)備設(shè)有化學(xué)清洗裝置；

4. 管道一般采用UPVC材質(zhì)；

5. 集成控制系統(tǒng)和集成儀表系統(tǒng)等，方便操作管理；

6. RO膜定時清洗 具有開機和定時清洗RO膜功能，延長RO膜使用壽命；

7. 水回收率 通過特殊的工藝設(shè)計，大幅提高了設(shè)備的回收率，可達70%；

8. 設(shè)備具有耗材更換自動提示功能，并且耗材的更換周期取決于水質(zhì)和壓力的變化，而非根據(jù)耗材的使用時間，考慮到了各地水質(zhì)的差異，設(shè)計更科學(xué)；

9. 自我保護功能 源水缺水自動停機保護功能同時具有水箱缺水自動產(chǎn)水、滿水自動停機功能。