產(chǎn)品功能介紹
等離子清洗技術(shù)起源于約30年前的半導(dǎo)體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳?xì)浠衔?等離子清洗的關(guān)鍵要點(diǎn)在于:不能改變樣品本身的化學(xué)組成;不能改變樣品的結(jié)構(gòu)特征;不能損傷樣品表面。
SOLARUS - 全新*等離子體清洗系統(tǒng),去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣品臺(tái)或樣品的污染。Solarus是新一代等離子系統(tǒng),其改造的新概念和技術(shù)令它具有更佳的性能,操作簡(jiǎn)便和良好的清洗效果。與市面上其他任何等離子清洗體系統(tǒng)相比,Solarus能提供效的清洗效果。
品牌介紹
美國GATAN公司成立于1964年并于70年代末進(jìn)入中國市場(chǎng)。GATAN公司以其產(chǎn)品的高性能及技術(shù)的*性在電鏡界享有*聲譽(yù)。
作的設(shè)計(jì)和制造用于增強(qiáng)和拓展電子顯微鏡功能的附件廠商,其產(chǎn)品涵蓋了從樣品制備到成像、分析等所有步驟的需求。產(chǎn)品應(yīng)用范圍包括材料科學(xué)、生命科學(xué)、地球物理學(xué)、電子學(xué),能源科學(xué)等領(lǐng)域, 客戶范圍涵蓋的科研院所,高校,各類檢測(cè)機(jī)構(gòu)及大型工業(yè)企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,并且在科學(xué)研究領(lǐng)域得到了廣泛認(rèn)同。
經(jīng)銷商介紹
歐波同有限公司的微納米技術(shù)服務(wù)供應(yīng)商,是一家以外資企業(yè)作為投資背景的,總部位于香港,分別在北京、上海、遼寧、山東等地設(shè)有分公司和辦事處。作為蔡司電子顯微鏡、GATAN掃描電子顯微鏡制樣設(shè)備及附屬分析設(shè)備在中國地區(qū)重要的戰(zhàn)略合作伙伴,公司秉承“打造國內(nèi)影響力的儀器銷售品牌”的經(jīng)營理念,與蔡司,GATAN品牌強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,正在為數(shù)以萬計(jì)的中國用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)。
產(chǎn)品主要技術(shù)特點(diǎn):
Solarus是一種*的清洗解決方案,它利用等離子配方,對(duì)于所有的樣品,包括Holey碳膜,都具有更快更*的清洗效果。該設(shè)備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴(kuò)展了對(duì)已經(jīng)被污染的樣品的觀察時(shí)間。采用分子泵搭配多級(jí)隔膜泵的真空系統(tǒng)可確??焖倏煽康某闅庑Ч2坏?分鐘的抽氣與放氣時(shí)間,30秒--2分鐘的清洗時(shí)間,整個(gè)過程不用2分鐘。
使用等離子清洗的好處:
增強(qiáng)成像能力
提高元素分析的準(zhǔn)確性
在SEM中,延長EDX和EBSD的觀察和采集時(shí)間
可使用更小的束斑,這對(duì)于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。
產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù):
射頻源: 50瓦的射頻電源,具有功率自動(dòng)匹配功能
真空系統(tǒng):70升/秒的分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵
氣壓: 5E-6 Torr基本壓力,400mTorr工作壓力
真空規(guī):緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室:
兩個(gè)前置接口能裝載TEM適配器,用于裝載側(cè)插TEM樣品桿和SEM樣品桿
頂部入口用于放入SEM樣品臺(tái),顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
前置觀察窗能觀察工作時(shí)的等離子體發(fā)光
內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開,抽真空時(shí)間不到1分鐘,放氣時(shí)間小于5秒。
氣體控制:采用精確的質(zhì)量流量計(jì)來測(cè)量及控制氣體流量
氣體種類:采用三路獨(dú)立氣體(H2,O2和Ar)
清洗配方:提供包含有H2/O2配方等一系列配方,同時(shí)支持用戶自定義配方
用戶界面:采用交互式觸摸屏,提供包含有中文、英文等多種語言界面
電源:通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W
射頻源: 50瓦的射頻電源,具有功率自動(dòng)匹配功能
真空系統(tǒng):70升/秒的分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵
氣壓: 5E-6 Torr基本壓力,400mTorr工作壓力
真空規(guī):緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室:
兩個(gè)前置接口能裝載TEM適配器,用于裝載側(cè)插TEM樣品桿和SEM樣品桿
頂部入口用于放入SEM樣品臺(tái),顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
前置觀察窗能觀察工作時(shí)的等離子體發(fā)光
內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開,抽真空時(shí)間不到1分鐘,放氣時(shí)間小于5秒。
氣體控制:采用精確的質(zhì)量流量計(jì)來測(cè)量及控制氣體流量
氣體種類:采用三路獨(dú)立氣體(H2,O2和Ar)
清洗配方:提供包含有H2/O2配方等一系列配方,同時(shí)支持用戶自定義配方
用戶界面:采用交互式觸摸屏,提供包含有中文、英文等多種語言界面
電源:通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W
相比于傳統(tǒng)的等離子清洗儀,Solarus的主要優(yōu)勢(shì):
1.)*的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期(不到2分鐘)
3.)交互式的觸摸屏設(shè)計(jì)
4.)提供7種經(jīng)測(cè)試過的一鍵操作式配方
5.)2個(gè)用于裝載側(cè)插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個(gè)(>25)TEM微柵或者SEM樣品臺(tái)/樣品
7.)自動(dòng)匹配功率的射頻源確保等離子源的長時(shí)間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制(質(zhì)量流量計(jì))
9.)最小損傷的清洗Holey碳膜
1.)*的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期(不到2分鐘)
3.)交互式的觸摸屏設(shè)計(jì)
4.)提供7種經(jīng)測(cè)試過的一鍵操作式配方
5.)2個(gè)用于裝載側(cè)插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個(gè)(>25)TEM微柵或者SEM樣品臺(tái)/樣品
7.)自動(dòng)匹配功率的射頻源確保等離子源的長時(shí)間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制(質(zhì)量流量計(jì))
9.)最小損傷的清洗Holey碳膜
10.)支持多種語言(英語、中文、日語、韓文、法語、德語)
產(chǎn)品主要應(yīng)用
去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣品臺(tái)或樣品的污染