CAT系列臭氧尾氣破壞器能夠安全的分解高濃度臭氧到亞ppm濃度級，遠遠低于推薦的安全臭氧濃度。該儀器使用金屬氧化物被動催化臭氧轉化為氧氣。CAT-O3系列臭氧破壞器的外殼由不銹鋼焊接而成，并配有熱屏蔽層。該設備的設計能夠滿足行業(yè)內嚴格的安全標準。
CAT系列臭氧尾氣破壞器特征
1、全焊接結構
2、安裝簡單
3、反應時間快
4、無耗材
應用
化學氣相沉積(CVD) 硅酸乙酯/臭氧(TEOS/O3)
原子層沉積(ALD)
有機金屬化合物化學氣相沉積
（MOCVD）
灰化(Ashers)
濕法處理流程(Wet Benches)
噴涂工具
臭氧具有的強氧化性是因為臭氧分子中氧原子具有強親電子或親質子性。臭氧分解后產生新生態(tài)氧原子，在水中可形成具有強氧化作用基團-羥基自由基，可快速除去廢水中的有機污染物，而自身分解為氧，不會造成二次污染。
目前認為臭氧與有機物的反應有2種途徑：
（1） 臭氧以氧分子形式與水體中的有機物直接反應。
該方法選擇性較強，一般攻擊帶有雙鍵的有機物，對芳香烴類和不飽和脂肪烴有機化合物的效果更好。
（2） 堿性條件下臭氧在水體中分解后產生氧化性很強的羥基自由基等中間產物，羥基自由基與有機化合物發(fā)生氧化反應。
該氧化方式無選擇性。
