RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測試系統(tǒng)
RTM660C采用高精度的厚度及電阻率探頭,配以強大的軟件控制,可以用多種方式進行無接觸式測量,使得測試過程變得十分高效。系統(tǒng)采用一體化設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,安裝方便。使用者在操作平臺上轉(zhuǎn)動硅片,測試數(shù)據(jù)可即時顯示,并可對測試數(shù)據(jù)進行分析處理。高精度電容式厚度探頭和電渦流式電阻率探頭,保證測試結(jié)果精確且穩(wěn)定。RTM660C可廣泛使用于研究、生產(chǎn)及質(zhì)檢等場所,友好的人機交互界面,使用相當便捷。
技術(shù)參數(shù)
■ 硅片規(guī)格:
方片125x125mm、156x156mm
圓片3″、4″、5″、6″、8″
■ 測試功能
厚度:單點及多點厚度
TTV:總厚度偏差
體電阻率:單點及多點體電阻率
■ 測試指標
厚度范圍:150~1000μm
測量誤差:≤±1.0μm
重復(fù)性:≤±0.20μm
TTV范圍:0.00μm~200.00μm
測量誤差:≤±0.50μm
重復(fù)性:≤±0.20μm
體電阻率范圍:0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
測量誤差:≤±3%
重復(fù)性:≤1.5%
■ 設(shè)備尺寸/重量:470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg
■ 測試環(huán)境要求:溫度范圍15~27℃
■ 濕度范圍:35%~85%
■ 電源要求:220VAC,50Hz
■ 控制器:高性能主機
系統(tǒng)演示
系統(tǒng)操作演示
北京羲和陽光科技發(fā)展有限公司是一家新能源科技公司,致力于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)。提供光伏生產(chǎn)所用硅料的分選、檢驗、檢測設(shè)備及相關(guān)設(shè)備配件,幫助您識別高質(zhì)量的硅料,減少采購或銷售的風險。
我公司經(jīng)營的主要產(chǎn)品有:硅料分選測試儀(電阻率,PN型識別)、電阻測試儀、排重摻測試儀、少子壽命測試儀、測厚儀、碳氧磷硼含量測試儀,表面線痕測試儀,光譜橢偏儀,透過率測試儀、相關(guān)產(chǎn)品配件,以及鎵摻雜劑、母合金摻雜劑,異丙醇,雙氧水等耗材。
羲和的名稱來源于中國的太陽神羲和女神,作為太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的一份子,為提高太陽能電池生產(chǎn)過程的可控性,較大限度的減少過程風險,羲和科技在不懈追求、積極探索,我們深感肩頭的重任,我們會倍加努力,持之以恒,給您提供*質(zhì)的產(chǎn)品、*惠的價格和Z滿意的服務(wù)。(關(guān)于羲和女神的故事)
硅料檢測分選儀 單晶P/N型測試儀 碳氧含量測試儀 硅片紅外探傷儀
RTM660C無接觸式硅片厚度電阻率測試系統(tǒng) 產(chǎn)品信息