日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
日本ACE排氣壓力控制器EPS5000 series
主要用途
- ♦單晶圓清洗設(shè)備的腔室壓力控制
- ♦清潔送風(fēng)室和清潔卡車室的壓力控制
- ♦受排氣管壓力波動(dòng)影響的設(shè)備和工藝
- ♦液晶氣刀罐排氣壓力控制
- ♦潔凈室的排氣壓力控制
可從5A開始
| 物品 | EPS-5200 | EPS-5150 | EPS-5100 |
| 連接管口徑 | 200A | 150A | 100A |
| 流量范圍（一次側(cè)） | 0.5至15 Nm3 /分鐘 | 0.5-10 Nm3 /分鐘 | 0.3-5 Nm3 /分鐘 |
| 如果流量小于最小流量，則可能無法達(dá)到設(shè)定壓力。 | |||
| 壓力損失 | 50 Pa at 15 Nm3 / min（空氣） | 10 Nm3 / min時(shí)20 Pa以下（空氣） | 10 Nm3 / min時(shí)20 Pa以下（空氣） |
| 控制閥連接 | 200A管道 | 150A水暖 | 100A管道輸出 |
| 調(diào)整壓力范圍（一次壓力） | -50至-999Pa（取決于與大氣壓和二次??壓力的壓差） | ||
| 二次壓力（閥門下游壓力） | （控制壓力-50）Pa以下 | ||
| 如果壓差小于此值，則主要調(diào)節(jié)范圍將變窄。 | |||
| 壓力精度 | 滿量程的±2％ | ||
| 控制紋波（穩(wěn)定控制期間的變化） | 滿量程的±1％（在二次壓力波動(dòng)的±10 Pa內(nèi)） | ||
| 耐壓（一次壓力） | 50kPa以內(nèi)（與大氣壓的壓差） | ||
| 反應(yīng)性 | 在2秒鐘內(nèi)達(dá)到設(shè)置的98％（典型值） | ||
| 流體溫度 | 10-50℃ | ||
| 主機(jī)環(huán)境溫度（精度保證溫度） | 15-35℃ | ||
| 電源電壓 | 24V DC±10％ | ||
| 外部輸出 | 壓力信號(hào)：1-5V DC | ||
| 報(bào)警：NPN晶體管集電極開路DC 30V <100mA | |||
| 控制器（CD-100） | 現(xiàn)場設(shè)置或外部設(shè)置均可切換 | ||
| 外部設(shè)定信號(hào) | 壓力設(shè)定信號(hào)：4?20mA | ||
| 閥門：強(qiáng)制打開，控制 | |||
| （選件）控制/打開（C / O）：24V DC ON / OFF | |||
| 報(bào)警信號(hào) | 壓差（可選設(shè)置） | ||
| 身體異常（包括壓力控制器異常） | |||
| 串行通訊 | RS485 | ||
| 供氣（N2）壓力 | 0.3±0.1兆帕 | ||
| 每個(gè)端口 | Φ6mm一觸式（閥門，電動(dòng)氣動(dòng)部分） | ||
| Φ4mm一鍵式（用于壓力測量） | |||
| 閥門的供應(yīng)管道是可選的 | |||
| 氣體接觸材料 | PVC，Viton，EPDM | ||
| 安裝姿勢 | 自由 | ||
| 控制閥狀態(tài) | 電源關(guān)閉時(shí)保持閥狀態(tài) | ||
