日本ACE壓力控制器AP160M
日本ACE壓力控制器AP160M
AP160M
半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)器
非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備
AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。
控制壓力約為650kPa，控制流速為100kPa壓差，有兩種接觸類型，即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥，AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象，因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達到設(shè)定壓力。
壓力b接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品，氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成，并且與惰性氣體，腐蝕性氣體，危險氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外，也是可能的。
| 模型 | AP160M |
| 主要用途 | 對于半導(dǎo)體 |
| 目標氣體 | 半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體 |
| 入口壓力 | 500kPa以下 |
| 耐壓 | 小于1000kPa |
| 壓力設(shè)定 | 需要計算機等輸入的壓力設(shè)定值 |
| 控制方式 | 比例電磁漿控制 |
| 控制壓力 | 0-500kPa |
| 流量 | 當壓差為100 kPa時，有兩種類型，即500 cc / min和3000 cc / min。 |
| 響應(yīng)時間 | 1秒鐘達到設(shè)定值 |
| 輸入信號 | 0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉 |
| R485 | |
| 外部傳感器輸入 | （4 ?? 20A可能） |
| 輸出信號 | 報警輸出RS485.0-5VDC |
| 管件 | 1/4〃VCR等效 |
| 閥座泄漏 | 10-6Pa ? m3 /秒以下 |
| 準確性 | ±5kPa（在800kPaFS時） |
| 電源電壓 | 24VDC±10％ |
| 目前的消費 | 200mA以下 |
| 工作溫度 | 0-50℃無凝結(jié) |
| 面之間的外部尺寸 | 寬36×深46×高60mm |
| 壓力傳感器 | 是（內(nèi)置） |
| 顯示設(shè)定裝置 | 沒有裝備 |
