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氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海雋思實驗儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2022/12/1 9:33:01
  • 訪問次數(shù)2340
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上海雋思實驗儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導體工藝設備、環(huán)境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業(yè),具有很強的自主開發(fā)、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務、優(yōu)質的品質”為宗旨,為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評,更為我們業(yè)務的快速發(fā)展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務有HMDS預處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗箱,高低溫試驗箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設備,導體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗機,橡塑檢測試驗機等。
    不斷追求技術進步、提升專業(yè)服務能力,做一個專業(yè)的儀器設備供應商是我們的發(fā)展目標。企業(yè)內部實施了CRM、ERP項目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質量控制、集成供應鏈、人力資源管理、財務管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時建立了標準化的服務流程,形成了覆蓋全國的快速服務網(wǎng)絡,以盡心盡責的服務理念和完備的技術得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機會,以飽滿的熱情、真誠的服務與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮氣烘箱,高溫無氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機,精密恒溫加熱臺,超低溫試驗箱
功率 3kw 設備重量 400kg
溫度波動度 1℃ 溫度范圍 250℃
額定溫度 常溫烘箱(100-250℃) 工作電壓 220v
工作室尺寸 450mm 供貨周期 15天
加工定制 送風方式 其他
外形 立式 外形尺寸 1690mm
用途 工業(yè)烘箱 真空度 133pa
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機物、工藝殘余、可動離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng) 真空烘箱 產(chǎn)品信息

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的用途:

用于除去硅片表面的污染物(顆粒、有機物、工藝殘余、可動離子),除去水蒸氣,使基底表面由親水性變?yōu)樵魉?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣淀積系統(tǒng)的原理:

1.脫水烘烤,硅片表面極容易受潮,所以在成底膜和涂光刻膠之前必須進行脫水烘烤處理;一般在溫度設定在150-200℃之間,在真空+充氮的氣氛中處理效果更好。

2.HMDS蒸鍍,在系統(tǒng)真空狀態(tài)下,將HMDS藥液吸入系統(tǒng)內并*霧化,霧化后的HMDS將均勻的涂布在硅片的表面。

3.堅膜烘烤,HMDS涂布完成后,在系統(tǒng)內保持一定的時間,使得HMDS鍍膜更加有效。

4.尾氣排放,HMDS鍍膜完成后排出剩余的氣體,HMDS尾氣處理。

5.涂膠,將完成HMDS成底膜的硅片取出,進入下一步涂膠工藝。

氣相成底膜烤箱技術參數(shù):

1、工作室尺寸:350×350×350(mm)

2、材質:外箱采用304不銹鋼,內箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3 、溫度范圍:RT+10-250℃

4 、溫度分辨率: 0.1℃

5、 溫度波動度:≤±0.5

6、真空度:≤133pa(1torr)

7 、潔凈度:class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

8、電源及總功率:AC 220V±10% / 50HZ       功率約2.5KW    

9 、控制儀表:人機界面

10、HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加量

11、真空泵:旋片式油泵(或進口無油泵)

12、 保護裝置:超溫保護,漏電保護,泄露保護,安全保護等

 

 

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