SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱概述
SECS/GEM通訊無塵烘箱,無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點
Ø 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
Ø 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
Ø 強制送風循環(huán)方式,雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到高精度溫度控制精度。
技術(shù)參數(shù)
主要技術(shù)指標
Ø 無塵等級:Class 100;
Ø 溫度均勻度:±2℃;
Ø 溫度波動度:±0.5℃(空載);
Ø 溫控精度:±0.1℃;
Ø 進風口:φ6mmN2進氣、流量計控制;
Ø 排風口: φ3”排風管(外接φ5"法蘭);