大流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計是一款高精
度、快速響應(yīng)、高穩(wěn)定性產(chǎn)品,本產(chǎn)品為熱式氣體質(zhì)量流量流量控
制器/流量計,利用氣流流過毛細管,改變毛細管溫度分布,造成
上下游溫差方法,從而測得氣體的質(zhì)量流量。其流量精度不受氣體
壓力、環(huán)境溫度影響,由于上下游溫差總是實時反映氣體瞬時流量,
所以特別適用于過程控制中的氣體流量的測量和控制。
本產(chǎn)品可以測量和控制絕大多數(shù)干燥、干凈的氣體,可以應(yīng)用在
量程范圍從300Ln/min 到3000Ln/min 之間氣體流量的測量和控制。
技術(shù)指標(biāo):
滿量程范圍(N2) 300...3000Ln/min
量程比控制器50:1 流量計100:1
精度±1.0%F.S
線性±0.5%F.S
重復(fù)性±0.2%F.S
響應(yīng)時間1S-3S
工作壓差0.3...0.7MPa
大耐壓3MPa
工作環(huán)境溫度5...45℃
泄漏率1×10-8Pa.m3/s
輸入輸出信號RS232/RS485 MODBUS 協(xié)議
供電方式24VDC
密封材料丁晴橡膠氟橡膠
接頭尺寸12mm 1/2” 3/4” 法蘭其他
產(chǎn)品應(yīng)用:
真空鍍膜設(shè)備
半導(dǎo)體工藝設(shè)備
化學(xué)與化工實驗設(shè)備
食品科學(xué)與工程設(shè)備
能源與環(huán)境保護設(shè)備
各種分析儀器設(shè)備
表面處理
真空冶金及材料工藝
高校及科研院所實驗室設(shè)備